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Buckyballs受到半导体皮肤的影响

发布时间:2017-10-01 01:45:21来源:未知点击:

由于足球形的全碳原子于1985年被发现,因此巴基球的应用已经很薄了现在,加利福尼亚的两位研究人员发现了它们的新用途 - 作为制造中的重要原料半导体和微型机电设备加利福尼亚州劳伦斯利弗莫尔国家实验室的两名工程师Alex Hamza和Mehdi Balooch使用巴基球在硅片上生产复杂形状的碳化硅薄膜区域碳化硅非常有用,因为它可以在硅不适合的地方使用例如,由碳化硅制成的电子器件可以在高达600°C的温度下工作,而由硅制成的电子器件在高于75°C的温度下工作类似地,由碳化硅制成的机械装置可以在比硅软化的600℃更高的温度下起作用,并且更硬和更坚固碳化硅也非常耐腐蚀但是碳化硅器件难以制造,因为该材料难以生长并蚀刻成图案 Buckyballs几乎呈球形,赋予它们不同寻常的特性最着名的版本包括排列成足球形状的60个碳原子但到目前为止,还只提出了另一种用于巴基球的实际用途:来自伊利诺伊州阿贡国家实验室的研究人员用它们来生长钻石薄膜(技术,7月30日)新技术依赖于巴基球和硅之间的相互作用如果在加热到930℃的硅晶片上发射巴基球,则碳键断裂,因此分子“像郁金香一样开放”然后它们具有高反应性,并与原硅结合以覆盖碳化硅图案的表面更重要的是,布基球不与二氧化硅反应这意味着在原始硅晶片上“掩蔽”电路图案的标准光刻技术可用于制造器件在用碳分子轰击后,产生相同的碳化硅图案,氧化物可以用氢氟酸溶解以留下碳化硅微结构碳化硅区域的尺寸仅受光刻方法本身的限制 “我们制造的最小结构直径为1微米,厚度范围从几百埃到大于一微米,”Hamza说该技术的应用不限于半导体 “最有希望的是微型机电设备之一,”哈姆扎说这些可能包括用于控制燃料喷射的汽车发动机中的压力传感器,飞机发动机中的熄火探测器,